Модель: Vesta – система плазменной очистки
Применение: Vesta — установка плазменной обработки, конфигурируемая в соответствии с требованиями заказчика, включая размер, материал и покрытие рабочей камеры, способ манипулирования образцами и конфигурацию электродной системы.
Краткое описание и технические характеристики:
Отличительные особенности модели:
- 2 газовые линии в стандартной конфигурации; 3 газовые линии — опционально
|
Размеры рабочей камеры |
Изготавливаются в соответствии с требованием Заказчика |
|
Конфигурация электродной системы |
Тип, количество электродов, рабочая частота, мощность — по выбору Заказчика |
|
Загрузка образцов |
Встраиваемая в линию; стационарная; полки; стеллажи; вращающаяся; ручная загрузка — по выбору Заказчика |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
13, 56 МГц, 200 Вт (300 Вт, 600 Вт — опционально) |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
1 — 0,001 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2, другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
2 шт (3 шт — опционально) |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос (от 80 до 580 л/мин) |
|
Управление |
ПК, сенсорный экран 17 ” |
|
Электропитание |
100 — 240 В, 50/60 Гц, 3,5 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
1020 х 1377 х 1329 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
500 кг |
