Dow Corning XR-1541 – это негативный резист для электронной (e-beam) литографии, позволяющий получать разрешение до 6 нм. Используется для производства фотошаблонов и микросхем нового поколения. Представляет собой материалы высокой чистоты (<10 30="" 180="" dow="" corning="" span="">
Отличительные особенности:
- высокая чистота;
- устойчивость к травителям;
- высокое разрешение;
- проявление в водных растворах.
Основные характеристики
- Минимальный размер элемента 6 нм
- Коэффициент преломления 1,41
- Концентрация примесей металлов < 10 ppb
- Толщина нанесения – 2% 30 - 60 нм
- Толщина нанесения – 4% 55 - 115 нм
- Толщина нанесения – 6% 85 - 180 нм
- Техническое описание: Dow Corning XR-1541_TDS.pdf
Технология использования
- Глубина проникновения электронного пучка 35 – 175нм
- Энергия электронного пучка 100 – 200 кэВ
- Энергия электронного пучка 400 – 700 мкКл/см2
- Температурный отжиг (рекомендуется) 350оC в атмосфере N2, для увеличения контраста
Условия поставки
Поставка под заказ. Срок поставки от 6 недель.
Упаковка, хранение и транспортировка
Dow Corning XR-1541 поставляется в бутылках 125 и 250 мл. Хранить при температуре +50С. Срок годности 6 месяцев.
