Под заказ

Фоторезист для электронной литографии Microchem ПММА

Артикул: 5-354176

  • Резист: Позитивный
  • Толщина мкм: 0,5-2,0
  • Другие методы экспонирования: я-линия, ГУФ, рентген
  • Проявитель: Разработчик нано ПММА
  • Сниматель: АР 600-71, АР 300-76, АР300-72

Резисты для электронной литографии традиционно применяются в производстве фотошаблонов, а также в прототипировании микро - и наноэлектронных устройств. Электронные резисты обычно позволяют получать структуры размерами до десятков нанометров.

Основные характеристики

Резист

Толщина плёнки, мкм

Другие методы экспонирования

Проявитель

Сниматель

Позитивные резисты

ALLRESIST АР-П 610

0,09-1,75

-

АР 600-50, АР 600-55

АР 300-70, АР 300-76

ALLRESIST АР-П 630-670(ПММА)

0,09-1,87

-

АР 600-55, АР 600-56

АР 600-71, АР 300-76

ALLRESIST АР-П 6200

0,08-0,4

-

АР 600-546, 600-549

АР 600-71, АР 300-76, АР300-73

ALLRESIST АР-П 6500

45-150

рентген, ГУФ

АР 600-51

АР 300-76

ALLRESIST АР-П 7400

0,6

я-, г-линии

АР 300-47

АР 600-71, АР 300-76

Микрохим ПММА

0,5-2,0

я-линия, ГУФ, рентген

Разработчик нано ПММА

АР 600-71, АР 300-76, АР300-72

Микрохим PMGI/ЛОР

0,5-5,0

я-, г-. ч-линии, рентген, ГУФ

0.26 Н МИФ 0.24 Н МИФ МИБ

 

Негативные резисты

ALLRESIST АР-Н 7500

0,4; 0,1

-

АР 300-46, 300-47

АР 600-71, АР 300-76, АР300-73

ALLRESIST АР-Н 7520

0,4; 0,1

-

АР 300-47, АР 300-26

АР 600-71, АР 300-76, АР300-73

ALLRESIST АР-Н 7700

0,4; 0,1

-

АР 300-46, 300-26

АР 300-73, АР 300-76

ALLRESIST АР-Н 7720

1,4; 0,25

-

АР 300-47, 300-26

АР 600-71, АР 300-73, АР300-76

NLOF АЗ 2000

1,5 — 20

я-линия

АЗ 826mif

АЗ® 100 съемник

Технология Microresist мА-Н 2400

0,5

ГУФ

мА-д-333, мА-д 532, миф 726

мА-Р 404

Дау Корнинг ХС-1541

0,5

-

0.26 Н ТМАНЫ

 

Условия поставки

Резисты для электронно-лучевой литографии поставляются под заказ

Упаковка

Фоторезисты упакованы в бутылки и банки различного объёма

Хранение и транспортировка

Срок годности и условия хранения резистов для электронной литографии указаны в техническом описании на данные продукты. Резистов Заморозка недопустима.

 

 

Запросить цену в 1 клик
Комментарии