Монокристаллический кремний - основа для производства полупроводниковых приборов. От чистоты и бездефектности данного материала зависят качество последующих операций и функциональные возможности конечного изделия.
Компания WaferWorld предлагает пластины из монокристаллического кремния высокого качества, выращенного по методу Чохральского или методом зонной плавки. Пластины изготавливаются в соответствие с международным стандартом SEMI, производство соответствует стандартам AS9100:2004/ ISO9001:2008.
Продукты компании WaferWorld на основе кремния включают:
- Пластины монокристаллического кремния
- Пластины монокристаллического кремния с термически выращенным окислом
- Толстые пластины кремния (до 10-12 мм)
- Эпитаксиально выращенный кремний
- Структуры КНИ (кремний-на-изоляторе)
Основные параметры* кремниевых пластин WaferWorld
Параметр Значение Метод выращивания Чохральского, зонной плавки Диаметр, мм 25,4; 50,8; 76,2; 100; 125; 150; 200 Легирующая примесь P, B, As, Sb Удельное объёмное сопротивление, Ом-см 0,001 - 12000 Кристаллографическая ориентация (100); (110); (111) Отклонение ориентации поверхности от заданной кристаллографической плоскости, град 0,1 - 1 Толщина пластины, мкм 10 - 12000 Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм < 10 Отклонение толщины от номинала партии, мкм от 5 Полировка одно- или двусторонняя * параметры, не указанные в таблице, соответствуют международным стандартам SEMI
Условия поставки
Поставка под заказ.
Упаковка, хранение и транспортировка
Пластины упакованы в кассеты по 25 штук, запечатаны в вакуумный пакет.
