Пластины арсенида галлия (GaAs)

Микросхемы на основе арсенида галлия широко применяются в производстве мобильных телефонов, устройств спутниковой связи, микроволновых приборов и некоторых радарных систем. Транзисторы из арсенида галлия работают на высоких частотах, что становится возможным благодаря особым свойствам полупроводникового материала.

Основные характеристики

Параметр	Единицы измерения		Значение
Метод выращивания	-		VGF, LEC
Диаметры пластин	мм		50.8, 76, 100, 125*, 150, 200
Толщины	мкм		250, 350, 400, 450, 625, 675
Тип проводимости/легирующая примесь	-		n / Si, Te, C p / Zn n / нелегированный
Удельное сопротивление	Ом×см	Полуизолирующий	>1×105
		Полупроводящий	>1×10-3
Концентрация носителей	см-3	p	1×1017 ÷ 5×1019
		n	1×1016 ÷ 4×1018
Ориентация			(100), (110), (111)
Плотность дислокаций (EPD)	см-2	Минимальная	<100 (VGF, полупроводящий)
		Средняя	1000-10000
		Максимальная	от 10000 до 10000
Срезы, выемки	-		По стандартам SEMI или EJ, либо по спецификации заказчика
TTV	мкм		3 −10
Подвижность носителей	см2В-1с-1	Полуизолирующий	2000<µ<6000, >6000*
		Полупроводящий	n: 1-2,5×103, p: 50-120
Лицевая сторона	-		Зеркальная, полированная
Обработка обратной стороны	-		Шлифованная, шлифовано-травленная, полированная
Отклонение направления среза от заданной кристаллографической ориентации	град.		±0,5
Отклонение поверхности от заданной кристаллографической ориентации	град.		±0,1

Условия поставки

Пластины GaAs могут иметься на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.

Упаковка

Пластины КНИ упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.

Хранение и транспортировка

Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.