Пластины из ниобата лития

Пластины ниобата лития применяются для создания изделий квантовой электроники и акустоэлектронных приборов. Для получения заданных характеристик приборов требуются пластины высокого качества. Наиболее жёсткие требования предъявляются к чистоте материала, геометрическим параметрам (толщина, изгиб, коробление) и качеству обработки поверхности.

Основные характеристики

Параметр	Единица	Значение
Температура Кюри	°С	1142
Угол среза	град.	X/Y/Z//Y36/Y41/Y64/Y128 и другие
Диаметр	мм	76,2±0,25	100±0,5	125±0,5	150±0,5
Толщина	мкм	≥100	≥180	≥300	≥500
Срезы	-	Стандартные либо иные по запросу
LTV (5×5 мм)	мкм	<2	<2	<2	<2
TTV	мкм	<8	<10	<15	<20
Прогиб	мкм	±20	±25	±40	±40
Коробление	мкм	≤30	≤40	≤50	≤50
PLTV (5×5 мм)	%	≥90	≥90	≥90	≥90
Ориентация среза	-	Любая
Обработка поверхности	-	Полировка одной или двух сторон
Шероховатость полированной поверхности	нм	<1
Обработка кромки	-	Согласно стандарту SEMI M1.2 (IEC62276)
Оптические примеси	-	Fe/Zn/MgO и другие

Условия поставки

Пластины ниобата лития поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.

Упаковка

Пластины ниобата лития упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.

Хранение и транспортировка

Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.