Видеоизмерительная система со сверхвысоким разрешением
Модель микроскопа Nikon NEXIV VMR-H3030 с величиной хода столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа позволяет производить высокоточные измерения небольших деталей, например, фотошаблонов, MEMS, корпусов деталей, микросборок, подложек, полупроводниковых пластин, прессованных и штампованных деталей.
| Перемещение по XYZ | Тип 1, 2, 3 и 4 | 300×300×150 мм |
| Тип Z120X с объективом высокого увеличения | 300×300×150 мм | |
| Тип Z120X с объективом малого увеличения | 250×300×150 мм | |
| Тип LU | 1200×720×150 мм | |
| Минимальный шаг считывания | 0.01 мкм | |
| Максимальные вес образца | 30 кг | |
| Точность (L: длина в мм) | U1X, U1Y | 0.6+2L/1000 мкм |
| U2XY | 0.9+3L/1000 мкм | |
| Точность по оси Z (с лазерным автофокусом) | 0.9+L/150 мкм | |
| Камера | Черно-белая ПЗС 1/3”, цветная ПЗС 1/3” (опция) Черно-белая ПЗС 1/3” с прогрессивным сканированием, цветная ПЗС 1/3” (опция) |
|
| Рабочее расстояние объектива | Тип 1, 2 и 3 | 50 мм при угле освещения 37°, 10 мм при угле освещения 75° |
| Тип Z120X | 9.8 мм для объектива большого увеличения и 32 мм для объектива малого увеличения | |
| Увеличение и поле зрения | Тип 1 | 0.5 ~ 7.5× / 9.33×7 ~ 0.622×0.467 мм |
| Тип 2 | 1 ~ 15× / 4.67×3.5 ~ 0.311×0.233 мм | |
| Тип 3 | 2 ~ 30× / 2.33×1.75 ~ 0.155×0.117 мм | |
| Тип Z120X | 1 ~ 120× / 4.67×3.5 ~ 0.039×0.029 мм | |
| Автофокус | Тип 1, 2, 3 и Z120X оборудованы лазерной автофокусировкой через объектив и визуальной автофокусировкой. Тип LU оборудован только визуальной автофокусировкой |
|
| Осветители | Тип 1, 2 и 3 | Светодиодный эпископический и диаскопический осветители 8-сегментный светодиодный кольцевой осветитель (внутренний кольцевой осветитель с углом освещения 37° и внешний кольцевой осветитель с углом освещения 75°) |
| Тип Z120X | Светодиодный эпископический и темнопольный осветители для объективов большого и малого увеличения Светодиодный диаскопический осветитель только для объектива большого увеличения | |
| Требования к питающей сети | AC 100-240В±10% 50 или 60 Гц | |
| Потребление по току | 11A (стандарт), 13A (Z120X) | |
| Размеры и вес | Основной блок и стол | 1000×1100×1900 ммо коло 570 кг |
| Блок управления | 250×550×500 мм/31 кг | |
| Система, включая компьютер на столе | 2400×1400 мм | |
