Модель: QML-STD – встраиваемая в линию установка плазменной обработки
Применение: QML-STD -встраиваемая в линию установка плазменной обработки.
Краткое описание и технические характеристики:
Отличительные особенности модели:
- Объём камеры: 1,44 л
- 1 газовая линия в стандартной конфигурации; 2 газовые линии — опционально
- Конвейер, работающий по протоколу SMEMA 1.2
|
Размеры, объем рабочей камеры |
120 х 300 х 40 (В) мм; 1,44 л |
|
Материал рабочей камеры |
Никелированный алюминий |
|
Размеры выводных рамок (мин.) |
10 х 100 х 0,1 (В) мм |
|
Размеры выводных рамок (макс.) |
80 х 280 х 1 (В) мм |
|
Конфигурация электродной системы |
Планарная |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
13, 56 МГц, 200 Вт |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
1 — 0,001 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2, другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
1 шт (опционально - 2 шт) |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос, 450 л/мин |
|
Управление |
ПЛК, сенсорный экран 7,5 ” |
|
Электропитание |
100 — 240 В, 50/60 Гц, 3 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
460 х 1223 х 1517 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
230 кг |
