• Превосходные технические характеристики при измерении вольтамперных характеристик (IV): разрешение 0,1 фA/0,5 мкВ
• Одноблочное решение для измерения вольтамперных (IV) и вольтфарадных (IV) характеристик, генерации испульсов, быстрых измерений IV и измерений во временной области
• Десять гнёзд для модулей источников/измерителей (SMU) и других типов модулей (MFCMU, HVSPGU и WGFMU)
• Безопасное и точное измерение параметров полупроводниковых устройств (как на пластине, так и в корпусе)
• Технические решения, реализующие с помощью с манипулятора переключение между измерениями CV-IV и обеспечивающие разрешение 0,5 мкВ при измерении напряжения и 10 фA, 1 фA или 0,1 фA при измерении силы тока
• Автономный режим анализа данных и разработка программ испытаний с помощью программного обеспечения EasyEXPERT
• Доступное техническое решение по измерению импульсных вольт-амперных (IV) характеристик с длительностью импульса 10 нс для высокоизолирующих диэлектриков К-затвора и транзисторов на КНД-структурах
• Доступен классический режим испытаний для сохранения внешнего вида, ощущения и терминологии интерфейса 4155/4156 с расширением возможностей взаимодействия за счёт полного использования преимуществ интерфейса пользователя Microsoft Windows
Анализатор полупроводниковых приборов B1500A компании Agilent имеет 10 гнёзд для установки модулей и поддерживает измерения вольт амперных (IV) и вольтфарадных (CV) характеристик, быстрые измерения высоковольтных и импульсных характеристик. Используя знакомый интерфейс пользователя Microsoft Windows, программное обеспечение EasyEXPERT компании Agilent реализует интуитивно понятный, проблемноориентированный подход для измерения параметров устройств. Благодаря возможностям измерения силы тока и напряжения малого уровня, а также интегрированным возможностям измерения ёмкости B1500A можно использовать для решения широкого круга задач определения параметров полупроводниковых устройств. Кроме того, САПР ICCAP поддерживает B1500A при моделировании устройств. B1500A является также превосходным техническим решением для определения параметров ячеек энергонезависимой памяти, включая новейшие измерения нестабильности, вызванной отрицательным смещением и температурой (NBTI) и произвольного телеграфного шума (RTN). Программное обеспечение EasyEXPERT компании Agilent для B1500A и программное обеспечение Desktop EasyEXPERT для управления прибором от ПК обеспечивают мощные возможности параметрических измерений. EasyEXPERT включает более 240 прикладных программ испытаний, удобно организованных по типу устройства и функции измерения. Эта обширная библиотека позволяет немедленно начать выполнять широкий круг измерений для множества типов устройств, не затрачивая времени на изучение аппаратных средств прибора. Модульная конструкция B1500A минимизирует затраты и защищает капиталовложения пользователя. Десять гнёзд и широкий выбор модулей источников/измерителей (SMU), а также других передовых типов модулей позволяет создать именно ту конфигурацию B1500A, которая требуется. При этом имеется достаточно места для расширения при изменении потребностей измерений. С появлением новых модулей можно легко добавлять новые возможности испытаний к B1500A. Способность удовлетворять как известным, так и непредвиденным требованиям испытаний гарантирует хорошую защиту инвестиций пользователя в оборудование для параметрических испытаний в будущем.
Технические характеристики
Характеристики базового блока
• Число доступных гнёзд: 10
• Ток стока модуля заземления: 4,2 А
• Порты USB: 2 на передней панели и 2 на задней панели
• Интерфейс управления прибором: GPIB
• Интерфейс локальной сети (LAN): порт 100 BASE-TX/10 BASE-T
• Внешние входы/выходы запуска: 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC); 8 программируемых входов/выходов запуска
Руководство по выбору модулей источников/измерителей (SMU)
| Модуль | HPSMU (B1510A) | MPSMU (B1511A) | HRSMU (B1517A) | ASU (E5288A) |
| Требуемое число гнёзд | 2 | 1 | 1 | неприменимо |
| Макс. напряжение источника | ±200 В | ±100 В | ±100 В | ±100 В |
| Макс. сила тока источника | ±1 A | ±100 мA | ±100 мA | ±100 мA |
| Разрешение при измерении напряжения | 2 мкВ | 0,5 мкВ | 0,5 мкВ | 0,5 мкВ |
| Разрешение при измерении силы тока | 10 фA | 10 фA | 1 фA | 0,1 фA |
Руководство по выбору модулей CMU/SPGU/WGFMU
| Модуль | Требуемое число гнёзд | Описание |
| MFCMU (B1520A) | 1 | от 1 кГц до 5 МГц, смещение до 100 В постоянного тока с модулями SMU |
| HVSPGU (B1525A) | 1 | мин. длительность импульса 12,5 нс, длительность перепада 10 нс; до 40 В с 3уровневым импульсом |
| WGFMU (B1530A) | 1 | мин. длительность импульса 100 нс, вых. напряжение 10 В (размах), частота взятия выборок при измерении тока или напряжения 5 нс |
Сокращения:
HPSMU модуль источника/измерителя большой мощности
MPSMU модуль источника/измерителя средней мощности
HRSMU модуль источника/измерителя с высоким разрешением
ASU модуль коммутатора и измерителя аттоамперных токов
CMU модуль измерения ёмкости
SPGU модуль высоковольтного генератора импульсов для полупроводников
WGFMU модуль генерации сигналов/быстрых измерений
