• Серия E5260A: высокоскоростные параметрические измерения, серия E5270B: прецизионные параметрические измерения
• Восемь гнёзд для установки модулей (E5260A и E5270B): гибкость и возможность модернизации в будущем
• Две фиксированные конфигурации (E5262A, E5263A): экономичные технические решения, которые обеспечивают точное соответствие потребностям измерений
• Бесплатно предоставляемое программное обеспечение Desktop EasyEXPERT
Серия E5270B для прецизионных измерений
Анализатор E5270B предлагает гибкое, расширяемое и модернизируемое техническое решение для определения параметров полупроводниковых устройств, обеспечивая разрешение при измерении напряжения 0,5 мкВ, а при измерении силы тока - 0,1 фA. Доступны три типа модулей источников/измерителей (SMU) для решения различных задач измерений: средней мощности (MPSMU), большой мощности (HPSMU) и с высоким разрешением (HRSMU). Дополнительный модуль коммутатора и измерителя атто-амперных токов (ASU) при совместном использовании с модулем HRSMU обеспечивает разрешение при измерении силы тока 100 aA. Модуль ASU позволяет переключаться между измерениями измерениями вольт-амперных (IV) и вольт-фарадных характеристик (CV) без каких-либо изменений соединений кабелей. Программное обеспечение Desktop EasyEXPERT создаёт единую среду для параметрических испытаний с удобным интерфейсом пользователя и может управлять E5270B, используя примеры прикладных программ испытаний. Компания Agilent предоставляет также стандартный VXIplug&play драйвер для создания собственных программ испытаний.
Технические характеристики базового блока
E5270BA 8-гнездовой базовый блок для прецизионных измерений
• Число доступных гнёзд: 8
• Ток стока модуля заземления: 4,0 А
• Интерфейс управления прибором: GPIB
• Внешние входы/выходы запуска: 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC);
8 программируемых входов/выходов запуска
Руководство по выбору модулей источников/измерителей (SMU)
| Модуль | HPSMU (E5280B) | MPSMU (E5281B) | HRSMU (E5287A) | ASU (E5288A) |
| Требуемое число гнёзд | 2 | 1 | 1 | неприменимо |
| Макс. напряжение источника | ±200 В | ±100 В | ±100 В | ±100 В |
| Макс. сила тока источника | ±1 A | ±100 мA | ±100 мA | ±100 мA |
| Разрешение при измерении напряжения | 2 мкВ | 0,5 мкВ | 0,5 мкВ | 0,5 мкВ |
| Разрешение при измерении силы тока | 10 фA | 10 фA | 1 фА | 0,1 фА |
E5260A и E5270A не имеют базовой конфигурации. Все требуемые модули, принадлежности и кабели должны быть заказаны во время первоначальной закупки. Примечание: поскольку E5260A и E5270A являются модульными изделиями, можно добавлять новые модули и после первоначальной закупки до тех пор, пока имеется достаточное количество свободных гнёзд.
E5262A и E5263A являются изделиями с фиксированной конфигурацией; они не имеют опций или требуемых принадлежностей.
