- Резист: Позитивные фоторезист
- Толщина мкм: 1,2-7
- Длина волны экспонирования: i-, g-линии; broadband
- Проявитель: MF-20A, MF-CD-26
- Сниматель: Cтанд. сниматели
 
							 
							
						 
					 
									
						
						
							
								
								
									
									 
									
- Резист: Позитивные фоторезист
- Толщина мкм: 0,8-1,3
- Длина волны экспонирования: i-, g-линии; broadband
- Проявитель: MF-20A, MF-CD-26
- Сниматель: Cтанд. сниматели
 
							 
							
						 
					 
									
						
						
							
								
								
									
									 
									
- Резист: Позитивные фоторезист
- Толщина мкм: 1,0-1,8
- Длина волны экспонирования: i-, g-линии; broadband
- Проявитель: MF-20A, MF-CD-26
- Сниматель: Cтанд. сниматели
 
							 
							
						 
					 
									
						
						
							
								
								
									
									 
									
- Резист: Негативный
- Толщина мкм: 0,5
- Другие методы экспонирования: -
- Проявитель: 0.26 Н ТМАНЫ
- Сниматель: -
 
							 
							
						 
					 
									
						
						
							
								
								
									
									 
									
- Применение: Нижнее антиотражающее покрытие
- Особенности: Имеет скорость травления на 30% выше, чем у фоторезистов
 
							 
							
						 
					 
									
						
						
							
								
								
									
									 
									
- Сниматель : Microresist Technology mr-Rem 660
- Точка вспышки, °С : 88
- Температура кипения, °С :200
- Чистота : -