Применение: Инфракрасный инспекционный микроскоп KIR-6412 предназначен для проведения неразрушающего контроля полупроводниковых приборов, в частности для выполнения анализа отказов после операции монтажа флип-чипов.
Особенности системы:
- Неразрушающий контроль WLCSP-компонентов
- Неразрушающий контроль качества монтажа флип-чипов
- Контроль интерметаллических соединений AuAl после операции разварки кристаллов и бампинга (Stud bumping)
- Исследование трехмерных структур MEMS
- Контроль качества полировки структур «кремний на изоляторе» (SOI)
- Возможность работы с пластинами диаметром до 300 мм (12”)
- Контроль целостности структур благодаря системе обработки ИК-изображений
- Контроль качества межсоединений, недоступных для визуального контроля
 |
 |
Технические характеристики:
|
Увеличение |
50Х – 500Х (максимум 1000Х) |
|
Окуляры |
PL10X/25mm широкоугольные с вынесенной точкой фокусировки |
|
Головка микроскопа |
Тринокулярная, 0-35° |
|
Расстояние между окулярами |
50 – 76 мм |
|
Объективы |
NIR 5X, 10X, 20X, 50X, 100X (Nikon, Mutitoyo, Edmond) |
|
Револьверная головка |
BD Sextuple |
|
Корпус |
Рефлектор, коаксиальная грубая и точная настройка Ход грубой настройки 33 мм Точность настойки 0,001 мм Встроенный трансформатор 100-240 В |
|
Подсветка |
Отраженный источник света с ирисовой и апертурной диафрагмами, слоты для фильтра и поляризатора, галогенная лампа 12В / 100Вт |
|
Рабочий столик |
300 х 350 мм, с зажимом |
|
Перемещение |
356 х 305 мм |
|
Адаптер для камеры |
0.5X/0.56X/1X, С-крепление, настраиваемый фокус |
|
Двойное С-крепление для камер |
Для переключения между режимами обычного микроскопа и ИК-микроскопа |