Системы для пробоподготовки JEOL

Артикул: 5-363123

  • Ускоряющее напряжение 1 ~ 8кВ
  • Угол падения пучка до ± 6 ? (шаг 0.1 ?)
  • Диаметр пучка 500мкм (FWHM)
  • Скорость травления 5мкм/мин (ускоряющее напряжение: 8кВ, эквивалент Si)
  • Используемый газ Аргон

Артикул: 5-363124

  • Диаметр пучка 500?м (FWHM)
  • Скорость травления 100?м / ч (в среднем за 2 часа, ускоряющее напряжение: 6kВ, эквивалент кремний, расстояние от источника: 100?м)
  • Максимальный размер образца 11мм (ширина) ? 10мм (длина) ? 2мм (толщина)
  • Диапазон перемещения образца По оси X ± 10мм, по оси Y ± 3mm
  • Точность предустановки наклона образца ± 5 ?

Артикул: 5-363125

  • Максимальный размер образца 11мм (ширина) ? 10мм (длина) ? 2мм (толщина)
  • Диапазон перемещения образца По оси X ± 10мм, по оси Y ± 3mm
  • Точность предустановки наклона образца ± 5 ?
  • Угол колебания образца в ходе травления ± 30 ? (заявка на патент)