Пластины из стекла Borofloat 33 широко применяются в оптоэлектронике, 3D интеграции и производстве МЭМС и МОЭМС. Также изготавливаются стеклянные пластины со сквозными проводящими выводами (TGV), канавками и отверстиями, что позволяет существенно упростить технологический процесс корпусирования на уровне пластины (WLP) и 3D интеграции.
Основные характеристики
Параметр
Значение
Материал
Borofloat® 33
Диаметр, мм
100
150
200
300
Толщина, мкм
100 ÷ 1000
100 ÷ 1000
200 ÷ 1000
400 ÷ 1000
Отклонение толщины от номинала партии, мкм
±10
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм
<10
Коэффициент температурного расширения, K-1
3,25×10-6
Наличие фасок или срезов (согласно стандартам SEMI)
Возможно
Полировка
1,5 нм (для анодной сварки);
возможна специальная полировка для непосредственной сварки (Ra<0,5 нм)
Нерабочая область, мм от края
6
Условия поставки
Пластины из стекла могут иметься на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.
Упаковка
Пластины из стекла упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Хранение и транспортировка
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.
