Пластины монокристаллического кремния

Монокристаллический кремний – основа для производства полупроводниковых приборов. От чистоты и бездефектности данного материала зависят качество последующих операций и функциональные возможности конечного изделия. Современные производители переходят на пластины диаметрами 200, 300 и 400мм, что позволяет существенно снизить себе стоимость производства микросхем. Группа компаний Остек предлагает пластины из монокристаллического кремния высокого качества, выращенного по методу Чохральского или методом зонной плавки, диаметрами от 25 до 200 мм, изготовленных по стандартам SEMI от ведущих мировых производителей. В ассортименте компании имеются импортные аналоги распространённых в отечественном производстве пластин марок КЭФ4,5 и КДБ12. Под заказ возможна поставка слитков монокристаллического кремния.

Основные характеристики

Параметр	Значение
Метод выращивания	Чохральского, зонной плавки
Диаметр, мм	25,4; 50,8; 76,2; 100; 125; 150; 200
Легирующая примесь	P, B, As, Sb
Удельное объёмное сопротивление, Ом-см	0,001 - 12000
Кристаллографическая ориентация	(100); (110); (111)
Отклонение ориентации поверхности от заданной кристаллографической плоскости, град	0,1 - 1
Толщина пластины, мкм	10 - 12000
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм	< 10
Отклонение толщины от номинала партии, мкм	от 5
Полировка	одно- или двусторонняя
Шероховатость поверхности, Ra	<0.5 нм

* параметры, не указанные в таблице, соответствуют международным стандартам SEMI;

по запросу возможна поставка пластин с иными параметрами, не указанными в таблице;

по запросу возможна поставка слитков из кремния.

Условия поставки

Пластины монокристаллического кремния могут иметься на складе, но в большинстве случаев они изготавливаются и поставляются под заказ согласно спецификации заказчика.

Упаковка

Пластины монокристаллического кремния упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не ниже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.

Хранение и транспортировка

Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.