Очень часто при разработке новых технологических процессов либо при отладке технологии возникает необходимость управлять вязкостью фоторезиста. Такое требование возникает в связи с необходимостью изменить толщину наносимого покрытия или метод нанесения фоторезиста (например, использовать спрей вместо центрифугирования). Также для производства микросхем с субмикронными топологическими нормами необходимо наносить достаточно тонкие плёнки фоторезиста. Для этих целей используют органические растворители, которые меняют вязкость фоторезиста, не изменяя его химической структуры и эксплуатационных характеристик. При этом очень важно использовать вещества повышенного качества и чистоты, особенно в процессах, где требуется субмикронное разрешение фотолитографии.
Основные характеристики
| Материал | Точка вспышки, °С | Температура кипения, °С | Особенности | Степень чистоты | 
| 22 | 131 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика | ULSI, VLSI | |
| 59 | 154 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика | VLSI | |
| -1 | 77 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валикам | MR, MOS, VLSI | |
| 13 | 82 | Растворитель, средство для отмывки органических загрязнений | VLSI | |
| ULSI | ||||
| SULSI | ||||
| 14 | 116 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика | VLSI | |
| 11 | 64,7 | Растворитель, средство для отмывки органических загрязнений | VLSI, ULSI | |
| 45 | 125 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика | ULSI | |
| 91 | 202 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика | MOS | |
| VLSI | ||||
| 98 | 204 | Разбавление фоторезистов, удаление краевого валика | ULSI | |
| 48 | 148-151 | Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов | VLSI | |
| 14 | 100-105 | Разбавитель. Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов | VLSI | |
| 45 | 143 | Разбавитель. Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов | VLSI | |
| - | - | Пригоден в т.ч. для НИЛ резистов | VLSI | 
Условия поставки
Разбавители фоторезистов поставляются под заказ.
Упаковка
Разбавители фоторезистов упакованы в бутылки и банки различного объёма.
Хранение и транспортировка
Срок годности и условия хранения разбавителей фоторезистов указаны в техническом описании на данные продукты.a
 
                             
                 
                                     
                                         
                                         
                                