Под заказ

Система плазменной очистки SCI PLASMA Titan

Артикул: 10-365078

  • Электропитание 3 фазы, 208 — 415 В, 50/60 Гц, 5,5  кВ*А
  • Требуемые подключения Сжатый воздух 4−6 бар
  • Габариты 793 х 1033 х 2157 мм (Д х Г х В)
  • Вес 500 кг

Модель: с – система плазменной очистки 

Применение: Titan — установка плазменной c большим объёмом камеры. Предназначена для применения в крупносерийном производстве изделий электроники 

Краткое описание и технические характеристики: 

Отличительные особенности модели: 

  • Рабочая камера: 95 л
  • Загрузка: 6 магазинов
  • Генератор плазмы: 13,56 МГц, 600 Вт
  • Количество газовых линий: 2 шт.
  • Улучшенная система распределения рабочего газа внутри камеры для достижения высокой однородности плазменной обработки.

 

Размеры загрузочного лотка

88  х 250  х 165  (В) мм

Размеры рабочей камеры

563  х 366  х 461  (В) мм; 95 л

Конфигурация электродной системы

Планарная, 6 заземленных полок для размещения 6−ти лотков

Частота, мощность генератора плазмы

13,56 МГц, 600 Вт

Рабочий диапазон датчика давления

1 — 0,001 мбар

Возможные рабочие газы

Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2,

другие рабочие газы — по требованию Заказчика

Количество газовых линий

2 шт, цифровые контроллеры массового расхода газа

Макс. давление рабочего газа

1,5 бар

Вакуумный насос

Масляный насос, 40 м3/час; сухой насос 250 л/сек

Управление

ПК, сенсорный  экран 17 ”

Электропитание

3 фазы, 208 — 415 В, 50/60 Гц, 5,5  кВ*А

Требуемые подключения

Сжатый воздух 4−6 бар

Габариты

793 х 1033 х 2157 мм (Д х Г х В)

Вес

500 кг

 

Запросить цену в 1 клик
Комментарии