Модель: QML-EX – встраиваемая в линию установка плазменной обработки
Применение: QML-STD - встраиваемая в линию установка плазменной обработки с увеличенным объемом камеры.
Краткое описание и технические характеристики:
Отличительные особенности модели:
- Объём камеры: 4 л
- 2 газовые линии
- Конвейер, работающий по протоколу SMEMA 1.2
|
Размеры, объем рабочей камеры |
320 х 320 х 40 (В) мм; 4,01 л |
|
Материал рабочей камеры |
Никелированный алюминий |
|
Конфигурация электродной системы |
Планарная |
|
Частота, мощность генератора плазмы |
13, 56 МГц, 300 Вт |
|
Рабочий диапазон датчика давления |
1 — 0,001 мбар |
|
Возможные рабочие газы |
Ar, O2, N2, Не, Ar/O2, Ar/H2, другие рабочие газы — по требованию Заказчика |
|
Количество газовых линий |
2 шт |
|
Макс. давление рабочего газа |
1,5 бар |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос, 450 л/мин |
|
Управление |
ПК, сенсорный экран 17 ” |
|
Электропитание |
100 — 240 В, 50/60 Гц, 3 кВ*А |
|
Требуемые подключения |
Сжатый воздух 4−6 бар |
|
Габариты |
480 х 1342 х 1701 мм (Д х Г х В) |
|
Вес |
300 кг |
