Под заказ

Трехмерный оптический профилометр ATO-200

Артикул: 5-386381

  • Возможность точного захвата сверх высокоточной микроскопической 3D-топографии
  • Сверхвысокая скорость значительно повышает эффективность измерений и может использоваться в автоматизированных производственных линиях.
  • Большое поле зрения и крупномасштабные измерения с высокой точностью.
  • Множество измерительных инструментов в программном обеспечении, позволяющих легко справляться с различными задачами и легко анализировать 3D-данные

Точность достигает субнанометрового уровня, а оперативное обнаружение происходит всего за 1 секунду.

Возможность изучать шероховатости, контуры, 3D топографию и получать изображение как на SEM микроскопах

1. Возможность точного захвата сверх высокоточной микроскопической 3D-топографии

AM-200 может использоваться для измерения поверхности различных прецизионных устройств и материалов на субнанометровом уровне и получения 3D-топографии в виде "поверхности"

3D-морфология обрабатывается и анализируется специальным программным обеспечением, а максимальная среднеквадратичная повторяемость может достигать 0,002 нм.

2. Сверхвысокая скорость значительно повышает эффективность измерений и может использоваться в автоматизированных производственных линиях.

ATO-200 оснащен крупномасштабными и высокоскоростными нанопьезоэлектрическими керамическими устройствами с максимальной скоростью сканирования 400 мкм / с, 3200 Гц и первым в отрасли алгоритмом SST + GAT, который может быстро отсканировать до 5 миллионов точек.

3. Большое поле зрения и крупномасштабные измерения с высокой точностью.

Принцип интерферометрии белого света позволяет достигнуть точность < 1 нм может быть получена при любом увеличении.

4. Множество измерительных инструментов в программном обеспечении, позволяющих легко справляться с различными задачами и легко анализировать 3D-данные

Уникально модулированный светодиодный источник белого света

Разница между пиками яркости интерференционных полос в точке А и точке В является разницей высот. Две колонки когерентных источников света с одинаковой частотой, постоянной разностью фаз и постоянным направлением вибрации могут создавать световые помехи.

Длина волны серии 210/230 - зеленый 520 нм

или

Длина волны серии 250 - синий 465нм

Высокочувствительный высокоскоростной датчик, с новым алгоритм работы в условиях низкой освещенности. Слабые световые сигналы, которые не могли быть зафиксированы в прошлом, могут быть получены и рассчитаны для повышения точности измерений. Прозрачные изделия с коэффициентом отражения всего 0,02% могут быть изучены и замерены.

Характеристика угла наклона гладкой поверхности составляет до 53°, а угол наклона локального сечения может достигать 90°

Большой выбор интерференционных объективов: 115х, 100х, 50х, 20х, 10х, 5х, 2,5х

Измерение поперечного сечения и плоскости в любом положении

Примеры работы программы

Характеристики

Модель

ATO-210

ATO-230

ATO-250

Видеокамера FHD

2.3MP

2.3MP

5MP

Объектив, увеличение

2,5х

10х

20х

50х

100х

115х

2,5х

10х

20х

50х

100х

115х

Рабочее расстояние, мм

10,3

9,3

7,4

4,7

3,4

2

0,7

10,3

9,3

7,4

4,7

3,4

2

0,7

Видимое поле

7.3 × 4.6

3.7 × 2.3

1.8 × 1.2

0.91 × 0.58

0.37 × 0.23

0.18 × 0.12

0.16 × 0.1

3.4 × 2.8

1.7 × 1.4

0.85 × 0.71

0.43 × 0.36

0.17 × 0.14

0.09 × 0.07

0.075 × 0.06

Шаг точки/мкм

3.8

1.9

0.96

0.48

0.19

0.1

0.08

1.4

0.7

0.35

0.175

0.07

0.035

0.03

Точность измерения X.Y, мкм

2

1

0.5

0.25

0.13

0.06

0.04

0.8

0.4

0.2

0.1

0.05

0.03

0.02

Количество пикселей

1920 × 1200

2456 × 2054

Скорость сканирования

169-3200Hz

77-2000Hz

Измерение по оси Z

5000 мкм

400 мкм

100мкм

Тип сканирования

Интерференция белого света

Характеристики поверхности

измерения

Супер-гладкая поверхность, шероховатая поверхность;

отражающая способность поверхности 0,02%˜100%

Источник света

Источник белого / зеленого света

Источник белого / зеленого света

Источник белого / синего света

Разрешение дисплея

0.001nm

0.001nm

0.001nm

Повторяемость

0.005nm

0.003nm

0.002nm

Характеристики стола (возможно изготовление стола под заказ)

Модель

AM-H1

AM-D1

WM для пластин

Тип

ручной

Моторизованный

Моторизованный

Диапазон

перемещения

100х70

100х100

300х300

Точность

1 мм

0,01 мкм

0,5 мкм

Повторяемость

-

0.2 мкм

±1 мкм

Точность позиционирования

-

±3 мкм

±10 мкм

Максимальная нагрузка, кг

3

2

15

Максимальная скорость,мм/с

-

60

200

Угол наклона

±5°

±5°

-

Возможность изготовления стола под заказ.

Запросить цену в 1 клик
Комментарии