Установки вакуумного напыления

Артикул: 5-363119

  • Давление в камере образцов около 4 Па
  • Диаметр камеры образцов 86 мм
  • Высота камеры образцов 98 мм
  • Размеры мишени диаметр – 49 мм, толщина – 0,1 мм
  • Диаметр электрода мишени 20 мм

Артикул: 5-363120

  • Достигаемое давление 3х10-4Па или менее 
  • Управление вакуумной системой Автоматическое
  • Измерение давления Вакуумный датчик Пенинга или датчик Пирани
  • Индикация давления Встроена
  • Колпак 250 мм (высота) х 250 мм(диаметр), материал - стекло

Артикул: 5-363121

  • Достигаемое давление 1х10-4Па или менее
  • Управление вакуумной системой Автоматическое
  • Измерение давления Вакуумный датчик Пенинга или датчик Пирани
  • Индикация давления Встроена
  • Колпак 250 мм (высота) х 250 мм(диаметр), материал - стекло

Артикул: 5-363122

  • Тип напыления: Магнетронный
  • Рабочее давление Не более 20 Pa
  • Ионный ток Предустановленные значения 10, 20, 30, 40 мА
  • Мишень Pt (стандарт), диаметр 57 мм
  • Столик для образцов диаметр 64мм

Артикул: 5-368592

  • Внутренние размеры вакуумной камеры, мм 600х600х600
  • Количество ионно-плазменных пушек (дуговиков) 3
  • Диаметр катода, мм 76
  • Рабочее давление в вакуумной камере, Па 6,5х10-3
  • Количество каналов газонапуска, шт. 2
  • Клительность откачки, мин ~30
  • Управление циклом откачки Полуавтоматическое/АСУ ТП
  • Электропитание 3х380 В/50 Гц
  • Расход воды (давление 4-6 атм.), м3/ч, холодная/горячая 1/0,2
  • Габаритные размеры установки (длина х ширина х высота), мм 3800х2250х2150
  • Габаритные размеры шкафа управления (высота х ширина х глубина), мм 2040х600х800