Напылительная установка магнетронного типа Smart Coater (Neo Coater) предназначена для магнетронного напыления непроводящих образцов металлами перед проведением их исследований в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Нанесенное на поверхность образца тонкое металлическое покрытие позволяет избегать эффекта зарядки поверхности под действием пучка электронов, а также повышает выход вторичных электронов.
| Характеристики | Значения |
| Давление в камере образцов | около 4 Па |
| Диаметр камеры образцов | 86 мм |
| Высота камеры образцов | 98 мм |
| Размеры мишени | диаметр – 49 мм, толщина – 0,1 мм |
| Диаметр электрода мишени | 20 мм |
| Диаметр столика образцов | 70 мм |
| Размеры блока напылителя и масса | 203мм х 270мм х 329 мм; 6,0 кг |
| Форвакуумный насос | Производительность: 20 л./мин. Предельный уровень вакуума: 0,1 Па Размеры: 120мм х 289мм х 163 мм Масса: 9,3 кг |
