Напылительная установка JEOL JEE-420

Универсальная вакуумная напылительная установка JEE-420 разработана для быстрой и простой подготовки образцов как для проведения микроанализа, так и для исследования морфологии в режиме высокого разрешения в просвечивающей и растровой электронной микроскопии. Области ее применения включают в себя напыление углеродной пленки, осаждение пленки металла, изготовление реплик, а также напыление непроводящих образцов с целью повышения их электропроводности. Кроме того, напылительная установка может использоваться для отжига диафрагм электронных микроскопов и в различных экспериментах, требующих нагрева образцов в вакууме.

Основные технические преимущества JEE-420:

• полная автоматизация управления;
• все кнопки переключения клапанов убраны с панели управления для защиты от неправильных действий оператора;
• система защиты установки позволяет предотвратить ее непоправимые повреждения;
• большой колпак (240мм диаметр и 270мм высота) позволяет напыление больших образцов;
• достигаемое давление (3х10-4 Па и менее) может быть измерено с помощью датчика Пенинга, встроенного в установку;
• колпак содержит два комплекта электродов, которые позволяют осаждение на один образец двух типов металлов или углерода и металла;
• для получения особо чистого вакуума в модель JEE-420T встраивается турбомолекулярный насос;
• использование криогенной ловушки позволяет ускорить откачку и получить более чистый вакуум.