- Точность позиционирования Менее 5 мкм
- Поле зрения (мин)* 1,6 мм х 1,2 мм
- Поле зрения (макс)* 20 мм х 15 мм
- Размеры компонента (мин)* 0,125 мм х 0,125 мм
- Точность позиционирования Менее 0,5 мкм
- Поле зрения (мин.)* 0,55 мм х 0,45мм
- Поле зрения (макс.)* 6,7 мм х 5,4 мм
- Поле зрения *3,8 мм х 2,7 мм
- Размеры компонента (мин.)*0,1 мм х 0,1 мм
- Точность установки компонентов ±0.5 мкм
- Поле обзора 3.8 – 2.7 мм
- Максимальный размер кристалла 100 х 100 мм
- Максимальный размер подложки 500 х 300 мм
- Область размещения 450 х 150 мм