Защитные фоточувствительные диэлектрики Cyclotene серии 4000, предлагаемые компанией Dow Chemical Company, представляют собой высокочистые полимерные материалы, полученные из мономеров на основе бензоциклобутена (BCB), и предназначены для применения тонкоплёночной технологии. Они идеальны для получения тонких диэлектрических слоёв и там, где необходимы защитные слои для пассивации и устойчивость к химическим воздействиям. Материал Cyclotene может служить как защитный слой для кремниевых, арсенид-галлиевых и керамических устройств, действует как негативный фоторезист, а также применяется в качестве диэлектрика с низкой диэлектрической проницаемостью в коммутационных конструкциях из арсенида галлия. Отличные характеристики по выравниванию материала Cyclotene позволяют выполнять плоские структуры межсоединений без применения химико-механической полировки.
Основные особенности:
- действует как негативный фоторезист;
- низкое значение диэлектрической постоянной;
- устойчивость к химическим воздействиям;
- доступы вязкости от 34 до 1950 сСт.;
- низкие потери на высоких частотах;
- низкое влагопоглощение;
- низкая температура отверждения;
- высокая степень выравнивания поверхности;
- низкое содержание ионов;
- высокая оптическая прозрачность;
- хорошая термическая стабильность;
- высокая устойчивость к химическим воздействиям;
- хорошая совместимость с различными составами металлизации;
- усадка при отверждении менее 5%.
Основные свойства
Таблица 1. Вязкости и толщины материалов Cyclotene серии 4000
Тип материала Cyclotene
Вязкость (сСт)
Толщина после термообработки (мкм)
XUS35078 type 2
96
1,8 – 3,6
4022-25
34
0,1 – 1,8
4022-35
192
2,5 – 5,0
4024-40
350
3,5 – 7,5
4026-46
1100
7,0 – 14,0
XUS35078 type 3
1950
15 - 30
Таблица 2. Электрические и температурные свойства
Величина
Значение
Диэлектрическая проницаемость
2,65 (1 кГц-20 ГГц)
Коэффициент затухания
0,0008
Напряжение пробоя
5,3 МВт/см
Ток утечки
4,7Е-10 А/см2 при 1 МВ/см
Объёмное сопротивление
1Е10 Ом·см
Температурная проводимость
0,29 Вт/м·К при 24оС
Температурная устойчивость
1,7% потеря веса за час при 350оС
Таблица 3. Механические свойства
Величина
Значение
Коэффициент теплового расширения
42 ppm/Со при 25оС
Температура стеклования
>350oC
Модуль упругости
2,9 ± 0,2 ГПа
Предел прочности
87 ± 9 МПа
Предел прочности при растяжении
8 ± 2,5%
Коэффициент Пуассона
0,34
Напряжение на кремнии при 25оС
28 ± 2 МПа
Рекомендации по использованию
- Тон: негативный.
- Толщина плёнки: 1,4 – 14 мкм.
- Усилитель адгезии: AP3000.
- Экспонирование: 436 нм (g-линия) и 365 нм (i-линия).
- Проявление: DS3000, DS2100.
- Удаление: Prime Stripper A.
- Техническое описание: Cyclothene 4000 series.pdf.
Условия поставки
Поставка под заказ. Срок поставки от 6 недель.
Упаковка, хранение и транспортировка
Материал поставляется замороженным в сухом льду. Хранить в упаковке от производителя в плотно закрытом контейнере. Избегать воздействия прямого солнечного света или источников УФ излучения. Избегать температур выше 40оС. Материал может реагировать с самим собой при температурах свыше 100оС. Избегать контакта с сильными окислителями.
Таблица 4. Температуры и сроки хранения
Температура хранения
Срок хранения
Ниже -15оС
12 – 18 месяцев с даты производства
4oС
1 – 2 месяца
20оС
5 – 10 дней
