Установки вакуумного напыления JEOL

Артикул: 5-363119

  • Давление в камере образцов около 4 Па
  • Диаметр камеры образцов 86 мм
  • Высота камеры образцов 98 мм
  • Размеры мишени диаметр – 49 мм, толщина – 0,1 мм
  • Диаметр электрода мишени 20 мм

Артикул: 5-363120

  • Достигаемое давление 3х10-4Па или менее 
  • Управление вакуумной системой Автоматическое
  • Измерение давления Вакуумный датчик Пенинга или датчик Пирани
  • Индикация давления Встроена
  • Колпак 250 мм (высота) х 250 мм(диаметр), материал - стекло

Артикул: 5-363121

  • Достигаемое давление 1х10-4Па или менее
  • Управление вакуумной системой Автоматическое
  • Измерение давления Вакуумный датчик Пенинга или датчик Пирани
  • Индикация давления Встроена
  • Колпак 250 мм (высота) х 250 мм(диаметр), материал - стекло

Артикул: 5-363122

  • Тип напыления: Магнетронный
  • Рабочее давление Не более 20 Pa
  • Ионный ток Предустановленные значения 10, 20, 30, 40 мА
  • Мишень Pt (стандарт), диаметр 57 мм
  • Столик для образцов диаметр 64мм